Ученые Национальной академии наук и производственного объединения "Планар" создали сверхточный сканирующий зондовый микроскоп.
Ученые Национальной академии наук и производственного объединения "Планар" создали сверхточный сканирующий зондовый микроскоп.
Рассказывает Наталья Марцелева.
Новый микроскоп, говорят специалисты, - яркий пример той самой связи науки и производства. Над новым прибором ученые Института тепло- и массообмена имени Лыкова и КБТЭМ-ИТЦ (Конструкторского бюро точного электронного машиностроения - Инженерно-технического центра) работали несколько лет. Особенность новинки - в соединении возможности контроля субмикронных элементов в микроэлектронике с оптическим (микрометровым) и атомно-силовым (нанометровым) разрешением.
(Сергей Чижик, главный ученый секретарь НАН Беларуси, член-корреспондент НАН Беларуси: "Здесь нет разных приборов. Это единый комплекс".)
Микроскоп незаменим для контроля качества интегральных микросхем в микроэлектронике. И его уже ждут на "Интеграле". Ведь при контроле сверхбольших интегральных схем в условиях серийного производства традиционные методы контроля устарели. Новинка позволяет определять дефекты не только в плоскости, но и в трехмерном 3D-формате с нанометровой точностью.
(Сергей Чижик, главный ученый секретарь НАН Беларуси, член-корреспондент НАН Беларуси: "Мы можем сегодня увидеть любой элемент в электронике, который создается и планируется не только у нас, но и в мире. Предельно тонкие вещи - это десятки нанометров в плоскости и перепады по высоте единицы нанометров и даже меньше".)
Сегодня производство таких комплексов, причем поштучно, доступно лишь нескольким высокоразвитым странам - США, Японии и Германии. И стоят такие приборы за рубежом миллионы долларов. Понятно, что наши специалисты рассчитывают на экспорт.
(Александр Рогожник, директор УП "КБТЭМ - ИТЦ": "У нас существует заинтересованность на внешних рынках - в Российской Федерации, в Германии - о поставках и изготовлении таких комплексов. Это говорит о том, что эта продукция, помимо импортозамещения, является экспортноориентированной".)
Высокотехнологичная продукция с высокой добавленной стоимостью. Необходимо отметить, что новая разработка отечественных ученых не имеет аналогов в СНГ.