Белорусские ученые и инженеры создали сверхточный микроскоп

25 января, Минск /Татьяна Чумакова - БЕЛТА/. Специалисты института тепло- и массообмена имени А.В.Лыкова НАН Беларуси и УП "Конструкторское бюро точного электронного машиностроения - Инженерно-технический центр" создали сверхточный сканирующий зондовый микроскоп. Об этом сообщил сегодня журналистам главный ученый секретарь НАН Беларуси Сергей Чижик, передает корреспондент БЕЛТА.

"Точность микроскопа составляет до 10 нанометров в плоскости микросхемы и до 1 нанометра по высоте ступеньки", - отметил Сергей Чижик. Особенность созданного микроскопа заключается в соединении возможности контроля субмикронных элементов в микроэлектронике с оптическим и атомно-силовым разрешением. Микроскоп будет применяться для контроля качества интегральных схем в микроэлектронике.

Главный ученый секретарь подчеркнул, что созданный микроскоп - это яркий пример высокотехнологичной продукции с высокой добавленной стоимостью. Новинка не имеет аналогов в странах СНГ, производство подобной продукции доступно лишь немногим высокоразвитым странам (США, Япония, Германия). Такого типа приборы стоят за рубежом миллионы долларов.

В Беларуси микроскопом заинтересовался "Интеграл", куда прибор и будет доставлен в первую очередь. Сергей Чижик отметил, что белорусские ученые рассчитывают с этой новинкой занять свою нишу и на мировом рынке.

Директор УП "КБТЭМ - ИТЦ" Александр Рогожник отметил, что за рубежом к микроскопу проявили интерес специалисты из России и Германии. Созданный микроскоп является примером импортозамещающей и экспортоориентированной продукции.

Микроскоп позволяет выявлять дефекты в интегральных микросхемах в плоскости, а также осуществлять их трехмерный контроль. Традиционные методы контроля в микроэклектронике, основанные на возможности оптической микроскопии, неприменимы при контроле сверхбольших интегральных схем в условиях серийного производства. Для решения этих проблем разработчики предложили использовать атомно-силовую микроскопию, основанную на сканировании изделий зондами, имеющими нанометровый радиус закругления острия.

Александр Рогожник добавил, что недавно в Беларуси разработан новый медико-биологический микроскоп, а также подобный прибор для Института генетики и цитологии НАН Беларуси.

Институт тепло- и массообмена имени А.В.Лыкова существует с 1952 года. К основным направлениям его научной деятельности относятся процессы тепло- и массообмена в капиллярно-пористых телах, дисперсных системах, неравновесных и реологических средах, турбулентных неоднородных потоках, низкотемпературной плазме и при взаимодействии излучения с веществом.

Научно-производственное республиканское унитарное предприятие "Конструкторское бюро точного электронного машиностроения - Инженерно-технический центр" входит в состав ГНПО "Планар". Специализируется на разработке и производстве микроскопов, инспекционных комплексов и постов микроконтроля на их основе. Продукция предприятия широко используется в микроэлектронике, материаловедении, машиностроении, медицине и других областях науки и техники. В 2008-2010 годах УП "КБТЭМ - ИТЦ" выполнило все основные доведенные показатели прогноза социально-экономического развития. Экспорт продукции предприятия в 2010 году возрос почти в полтора раза к уровню 2009 года при одновременном снижении импорта. Обеспечено положительное внешнеторговое сальдо. Инвестиции в основной капитал возросли более чем в два раза. Выручка от реализации продукции увеличилась примерно в 1,7 раза. Показатель по энергосбережению составил около -80% при задании -9%.