"Роснано" пошла по стопам Intel

"Роснано" инвестирует 40 млн евро в нидерландскую компанию Mapper Lithography, разрабатывающую новую технологию производства микросхем. Часть производства будет размещена в России.

Сегодня "Роснано" объявит об участии в раунде инвестиций в нидерландского разработчика оборудования для производства микросхем Mapper Lithography общим объемом 80 млн евро, рассказали представители обеих компаний. "Роснано" вкладывает 40 млн евро, еще столько же - существующие акционеры Mapper: инвесткомпании ADP Industries, Parcom Capital и Hoving & Partners, технологические компании Technolution и DEMCON, частные инвесторы и фонды, а также агентство Нидерландов при Минэкономики этой страны. Значительная часть инвестиций "Роснано" пойдет на создание в России производства электронной оптики на основе микроэлектромеханических систем - ключевых компонентов, которые использует оборудование Mapper.

Несколько десятилетий микропроцессоры выпускались по технологии фотолитографии: на кремниевую подложку наносится слой чувствительного к свету материала-фоторезиста, потом через фотошаблон-маску на него подают свет и удаляют засвеченный фоторезист с помощью химикатов. Однако минимальные размеры элемента на микросхеме, соответствующие половине длины волны светового излучения, все время уменьшались и уже приблизились к границе между светом и рентгеновским излучением. У рентгеновского же излучения свойства другие: оно хуже отражается и вдобавок проходит сквозь вещество, так что обычные технологии фотолитографии применить намного сложнее.

Сейчас есть всего две перспективные технологии литографии: одну разрабатывает лидер рынка ASML, другую - Mapper, объясняет старший инвестиционный менеджер "Роснано" Василий Костяновский. ASML привлекла инвестиции только что: в июле 2012 г. 15% ее акций приобрела за $3,1 млрд Intel, плюс еще $1 млрд вложила в ее программу НИОКР.

Недавно ASML объявила о переносе запуска серийного производства на 2016 год, а это дает шансы конкурирующей технологии, говорит Костяновский. По его словам, Mapper нужны деньги, чтобы создать промышленное оборудование. Гендиректор и один из основателей Mapper - Берт Ян Камфербеек уточняет: первое производство на базе ее технологии планируется открыть в 2014 году.

В литографии и раньше существовало несколько конкурирующих технологий и успех одной не означает провала другой, рассуждает руководитель подразделения "Ситроникс микроэлектроника" Геннадий Красников. Но Mapper найдет свою нишу на рынке, так что инвестиции "Роснано" перспективные, уверен он.