Ученые придумали, как сделать чип по технологии 9 нм
12.07.2011 17:08
—
Новости Hi-Tech
Ученые из Массачусетского технологического университета (MIT) сообщают, что нашли способ добиться разрешения в 9 нм для технологии электронно-лучевой литографии, которая рассматривается как одна из альтернатив фотолитографии, широко применяющейся сейчас для производства чипов. Результаты своего исследования они опубликовали в последнем номере журнала Microelectronic Engineering.